时间:2026-02-04 14:33:01
【一种柔性封装基板的微盲孔制作方法】的权利说明书内容是......请下载后查看
盲孔制作方法属于超薄FPC制作工艺。背景技术柔性封装基板的布线越来越密集,
特别是一些BGA焊盘也是越做越小,对于导通孔要求尺寸也越来越小;目前已开
发50um以下的盲孔导通孔,在要求阻抗的情况下,PI的厚度还是维持在25um或
者50um,这种孔径比大于1:1的微盲孔在黑孔后,微蚀液很难渗入孔底,导致碳
粉不易清洗干净,需要采用专用的盲孔微蚀线多次清洗,而清洗会导致面铜与黑孔
层发生断层,从而给填孔电镀造成很大难度。发明内容本发明的目的在于避免现有
技术的不足,而提供一种降低盲孔电镀难度,抑制出现面铜与碳粉层断层现象的一
种柔性封装基板的微盲孔制作方法。本发明的目的是通过以下措施来达到的,一种
柔性封装基板的微盲孔制作方法是:a.以市场上通用的双面或多面柔性电路板为
基材;所述的双面或多面柔性电路板基材,中间的连接层可以是25或50um的聚
酰亚胺,聚酯或聚萘二甲酸乙二醇酯,所述的的连接层上覆盖有铜箔层,连接层通
过粘结胶层覆在基材的上方;b.对步骤a中的基材表面铜箔进行减薄,减薄到4-
6um;该基材表面铜厚为9-18um铜箔;c.对步骤b中的基材表面进行保护;
d.将步骤c中的带保护层的铜面激光钻盲孔,该盲孔为40、50、60um的盲孔。
e.用等离子清洗的方式粗化PI和去除激光钻孔内残渣;等离子除环氧胶胶速率为
0.5um/min,等离子除聚酰亚胺速率为0.1um/min。f.采用黑孔的方式进行孔金属化。
g.将步骤f中黑孔的半成品板过水平微蚀线,直到孔底与铜表面外观一致;该水
护层,浓度为1-3%;i.该处可选择增加闪镀,以保护碳粉层不易脱落,闪镀厚度
控制在1-2um;j.采用盲孔电镀药水进行盲孔填埋。k.对步骤j中半成品板可采
用减成法或半加成法进行线路制作。本发明通过降低面铜铜厚,减小孔深与孔径的
比例,使盲孔容易填平,另一方面在钻盲孔前对铜面进行保护,即可以不让激光残
渣污染板面,也可防止多次线外清洗形成的微蚀环,从而出现孔口与黑孔层断层的
现象,影响盲孔的导通性能。附图说明附图1是本发明的基材示意图。附图2是本
发明的基材减铜示意图。附图3是本发明的贴干膜示意图。附图4是本发明的激光
钻孔示意图。附图5是本发明的孔金属化示意图。附图6是本发明的微蚀示意图。